我国变压吸附法制氧技术的发展起步较早，自1966年开始研究沸石分子筛空气分离技术以来，psa 空气分离系统已广泛应用于钢铁、冶炼、玻璃熔窑等行业。制氮机厂家空气为原料，以优质碳分子筛为吸附剂，运用变压吸附原理(PSA)，利用充满微孔的分子筛，对空气进行选择性吸附，以达到氧氮分离的目的。制氮机按变压吸附技术设计、制造的氮气发生设备。近20年来，由于技术力量分散和缺乏沟通，我国变压吸附技术发展缓慢，与国外的差距不断扩大。制氮机按变压吸附技术设计、制造的氮气发生设备。20世纪70年代是我国变压吸附分离空气制氧技术发展的高峰期，10多个单位对变压吸附制氧技术进行了试验研究，建立了多套工业试验装置。

这个时期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：

大多都是采用成本高于标准大气压吸附、常压解吸操作流程，吸附塔有两个到四个；

前空气进入吸附塔，脱水预处理;

设备进行可靠性差，不能连续稳定发展运行，导致企业大部分设备报废；

技術、絶対収益。